| 型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等離子模式 | DP/RIE | ||
| 高頻電源 | 13.56MHz | ||
| 輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） | ||
| 真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
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